Dhyana 9KTDI
高速TDI-sCMOS相機
- 510 kHz @ 9K
- 256 級TDI
- 180 nm ~ 1100 nm
- 風冷／水冷
- CoaXPress 2.0
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產品介紹
Dhyana 9KTDI（簡稱：9KTDI）背照式TDI 相機基于先進的sCMOS 背照式減薄和TDI 時間積分技術，采用可靠穩定的制冷封裝技術，覆蓋從180nm紫外到1100nm近紅外寬光譜，有效提升紫外TDI線掃、弱光掃描檢測能力，旨在為半導體晶圓缺陷檢測、半導體材料缺陷檢測、基因測序等應用提供更高效率、更穩定的檢測支持。
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180nm-1100nm寬光譜
Dhyana 9KTDI 采用背照式 sCMOS 技術，已驗證的響應波段可覆蓋180 nm - 1100 nm區域。256級 TDI技術可以大幅提升紫外（193nm/266nm/355nm等波段）、可見光、近紅外等弱光成像信噪比，提高設備檢測精度。
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510kHz @ 9K 超高速線掃
Dhyana 9KTDI搭載CXP-12高速接口，支持1 x CXP-12 / 2 x CXP-12 / 4 x CXP-12靈活配置。 相機行頻最高可達9K @ 510 kHz，數據通量幾乎是目前主流8K線陣相機的6倍，背照式 CCD-TDI 相機的46倍，可大幅提高設備檢測效率。
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先進制冷降噪技術
相機高速運行時產生的大量熱量，不僅會影響成像質量，還會引起測量結果的波動。鑫圖先進水冷和風冷技術，確保相機制冷性能即使長時間運行也能保持穩定狀態，降低設備誤檢率。
技術參數 >
- 型號: Dhyana 9KTDI
- 傳感器類型: BSI sCMOS TDI
- 傳感器型號: Gpixel GLT5009BSI
- 量子效率: 38 % @ 266 nm，51% @ 355 nm，82 % @ 550 nm，38 % @ 800 nm
- 彩色 / 黑白: 黑白
- 對角線尺寸: 45.4 mm
- 有效面積: 45.36 mm x 1.28 mm
- 分辨率: 9072 (H) x 256 (V)
- 像素尺寸: 5 μm x 5 μm
- 操作模式: TDI, Area
- TDI 級數: 4, 8, 16, 32, 64, 96, 128, 160, 192, 224, 240, 248, 252, 256
- 掃描方向: 正向，反向，觸發控制
- 電荷轉移效率: ≥ 0.99993
- 位深: 12 bit, 10 bit, 8 bit
- 滿阱容量: 典型值: 15.5 ke- @ 12 bit, 14 ke- @ 10 bit
- 動態范圍: 典型值：68.7 dB @ 12 bit, 63.6 dB @ 10 bit
- 最大線速: 299 kHz @ 12 bit, 345 kHz@ 10 bit, 510 kHz @ 8 bit
- 讀出噪聲: 典型值：7.2 e- @ 12 bit, 11.4 e- @ 10 bit
- 暗信號不均勻性: 典型值：1.5 e- @ 12 bit, 3.5 e- @ 10 bit
- 光響應不均勻性: 典型值：0.30%
- 制冷方式: 風冷，水冷，制冷速度 5 ℃ / min
- 制冷溫度: 低于環境溫度25℃
- Binning: 2 x 1 (SENSOR BIN)，2 x 2，4 x 4，8 x 8 (FPGA BIN)
- ROI: 支持
- 觸發模式: 觸發輸入, 掃描方向輸入
- 觸發輸出信號: Strobe out
- 觸發接口: Hirose, HR10A-7R-4S
- 時間戳精度: 8 ns
- 模擬增益: x2 ~ x8, 步進 0.5
- 數字增益: x0.5 ~ x10，步進 1
- 數據接口: CoaxPress 2.0
- 光學接口: M72 / 用戶可定制
- 電源: 12 V / 8 A
- 功耗: < 60 W
- 相機尺寸: 86 mm x 86 mm x 109 mm
- 重量: 1100 g
- 軟件: SamplePro
- SDK: C++（支持GenlCam標準）
- 操作系統: Windows, Linux
- 操作環境: 工作溫度：溫度 0~40 °C, 濕度 0~85% 儲藏溫度：溫度 0~60 °C, 濕度 0~90 %
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應用方向 >
Download >
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Dhyana 9KTDI 產品規格書
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Dhyana 9KTDI 用戶手冊
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Dhyana 9KTDI 結構圖紙
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軟件 - SamplePro（9KTDI）
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驅動 - Tucsen Driver
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驅動 - eGrabber
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驅動 - KAYA
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