Libra UV
Libra UV是鑫圖針對半導體高速高分辨率檢測推出的紫外全局快門CMOS相機。在半導體行業中,Libra UV已成功應用在無圖形晶圓檢測、有圖形晶圓檢測、掩膜板對準以及晶圓鍵合等多個工藝制造和瑕疵檢測環節中。除此之外,基于其寬光譜和優異的紫外響應能力,它在生物光譜分析儀器整合、醫療和電子產品檢測領域也有非常廣闊的應用前景。
Libra UV采用Sony背照式CMOS技術,不僅具有寬光譜(200 nm~1000 nm)優勢,且在200-400 nm紫外波段還具有優異的響應能力,365 nm波段量子效率高達48%。
Libra UV采用全局快門技術,可以清晰地捕捉快速運動中的樣品;同時配備10G GigE高速接口,在810萬全分辨率速度最高可達100 fps@12 bit 和 152 fps @ 8 bit,具有非常顯著的高速效能優勢。
Libra UV針對檢測設備和儀器系統整合的特點,在結構設計上實現了高質量成像性能和小尺寸緊湊型空間需求的平衡。