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Libra UV是鑫圖針對半導體高速高分辨率檢測推出的紫外全局快門CMOS相機。在半導體行業中，Libra UV已成功應用在無圖形晶圓檢測、有圖形晶圓檢測、掩膜板對準以及晶圓鍵合等多個工藝制造和瑕疵檢測環節中。除此之外,基于其寬光譜和優異的紫外響應能力，它在生物光譜分析儀器整合、醫療和電子產品檢測領域也有非常廣闊的應用前景。

寬光譜/紫外增強

Libra UV采用Sony背照式CMOS技術，不僅具有寬光譜（200 nm~1000 nm)優勢，且在200-400 nm紫外波段還具有優異的響應能力，365 nm波段量子效率高達48%。
全局快門高速成像

Libra UV采用全局快門技術，可以清晰地捕捉快速運動中的樣品；同時配備10G GigE高速接口，在810萬全分辨率速度最高可達100 fps@12 bit 和 152 fps @ 8 bit，具有非常顯著的高速效能優勢。
緊湊型結構設計

Libra UV針對檢測設備和儀器系統整合的特點，在結構設計上實現了高質量成像性能和小尺寸緊湊型空間需求的平衡。

技術參數 >

型號: Libra UV
傳感器類型: CMOS
傳感器型號: IMX487
光譜范圍: 可見光 / 紫外可感應
黑白/彩色: 黑白
峰值量子效率: 56%@500 nm，48%@365 nm
對角線尺寸: 11 mm (2/3'')
有效面積: 7.8 mm x 7.8 mm
分辨率: 2856 (H) x 2848 (V)
像素尺寸: 2.74 μm x 2.74 μm
增益: 支持模擬增益（1~15.7）, 數字增益（15.8~126）
幀率: 152 fps @ 8 bit, 100 fps @ 10 bit, 100 fps @ 12 bit
滿阱容量: 10 bit：9000 e- @ gain 1, 580 e- @ gain 15.7； 12 bit：9250 e- @ gain 1, 555 e- @ gain 15.7
讀出噪聲: 10 bit：3.9 e- (RMS) @ gain 1, 2.1 e- (RMS) @ gain 15.7 12 bit：2.4 e- (RMS) @ gain 1, 1.5 e- (RMS) @ gain 15.7
動態范圍: 10 bit：65 dB @ gain 1, 49.1 dB @ gain 15.7； 12 bit：72 dB @ gain 1, 52 dB @ gain 15.7
快門類型: 全局快門
曝光時間: 8 bit：2 μs ~ 10 s; 10, 12 bit：3 μs ~ 10 s
暗信號不均一性: 0.38
光響應不均勻性: 0.52%
圖像校正: DPC
ROI: 支持
Binning: Bin 1 x 2 (Avg and Sum), Bin 2 x 1 (Avg and Sum), Bin 2 x 2 (Sum)
時間戳精度: 1 μs
觸發模式: 硬件, 軟件
觸發輸出: 高電平, 低電平, 觸發準備, 讀出, 曝光
觸發接口: Hirose-12-pin
數據接口: 10G GigE
位深: 8 bit, 10 bit, 12 bit
光學接口: C-Mount
電源: 12 V / 2 A, 支持POE
功耗: ≤ 12 W
相機尺寸: 45 mm x 45 mm x 74.3 mm
軟件: SamplePro
SDK: C / C++ / C# / Python
操作系統: Windows / OpenEuler
操作環境: 工作環境：溫度-10 ~ 40 °C, 濕度 0 ~ 85 %；儲存環境：溫度-20 ~ 60 °C, 濕度 0 ~ 85 %