應用需求與挑戰
在晶圓檢測中，缺陷往往處于微米甚至納米級別，直接決定良率水平。相機必須具備超高分辨率和低噪聲性能，才能捕捉到顆粒、劃痕和圖形偏差等微小特征。晶圓表面的高反射率和干涉效應對動態范圍提出了挑戰，而12英寸以上晶圓的全局檢測又要求相機兼具大靶面和高速掃描能力，實現效率與精度的平衡。
典型相機推薦
Gemini 8KTDI
深紫外高速TDI-sCMOS相機
Gemini 8KTDI 是鑫圖面向高通量檢測推出的新一代高性能TDI相機。相比上一代Dhyana TDI相機產品，它具備更高信噪比與高速成像優勢，在紫外波段（266nm 63.9%，355nm 58%）和可見光波段（420nm 93.4%峰值）實現了大幅靈敏度提升。相機率先采用 100G CoF 高速接口，支持 8K@1MHz 行頻，整體通量性能翻倍升級。同時，搭載穩定可靠的制冷降噪技術，有效抑制高速運行產生的熱噪聲，為高端設備提供更高精度與更高效率的保障。
2025-09-12
